型号:上海众濒CSCPIA5
(1)工作电流整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
(2)电源功率0-300W 连续可调
(3)射频频率40KHz
(4)频率偏移量小于 0.2KHz
(5)特性阻抗50Ω,自动匹配
(6)真空度1pa-30pa
(7)气体路数高精密双路浮子流量计
(8)气体流量10-100ml/min(可调)
(9)清洗时间1-60000 秒钟可调
(10)功率大小10%-100%可调
(11)内腔尺寸ø150mm*270mm
(12)真空泵抽速4L/S
(13)真空室温度:小于 65 ℃


